特征及用途:
产品特征:
◎采用等螺距及变螺距螺杆,吸气排气效率高、排气温度低、低功耗、低噪音、低振动。
◎具有高真空性能,极限压力:1*10-2Torr(托)。
◎结构简单,旋转部件无金属接触,易保养、维修费用低、使用寿命长。
◎工作腔及螺杆表面用聚四氟乙烯、镍或哈氏合金涂层,适用范围广泛。
◎齿轮传动部浸油润滑,轴承采用强制润滑,保证润滑可靠性,极大延长轴承的检修周期。
◎采用多道唇式密封设计,降低密封件同时失效的概率,有效杜绝泄漏产生。通过氮气加压保护防止被抽气体对密封件的侵蚀,延长密封使用寿命。
◎不使用油或水介质,对抽吸气体无污染。
应用范围:
电子:半导体等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺,液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程。
石油化工:抽取可凝性气体、有毒气体、腐蚀性气体或含有微尘的气体。
制药医疗:药物的真空干燥、药物中间体回收、气体消毒剂回收;为人造器官提供清洁无菌条件等。
化工:真空蒸馏及溶剂萃取回收(萃取回收丙酮、多元醇等工艺)。
工业设备:集中式真空处理系统、挤出机的混合工艺及板材的排气工艺。
混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于消除水污染,及喷射器中的阻塞物。
涉及无油污水真空处理的所有应用。
食品:香料、香精提纯;食品包装等。